磁気浮上式ターボ分子ポンプ
当社のTURBOVAC MAGプラットフォームは、現在、2200~3200 l/sの排気速度レンジで展開されています。
TURBOVAC MAGは、真空技術および航空機産業において不可欠な要素である、正確性、精密性、信頼性を兼ね備えています。真空技術において、ライボルトの磁気浮上式ターボ分子ポンプは、高い排気速度とガス処理能力を備えており、より迅速なポンプダウンを実現することで、装置のサイクルタイムを短縮します。新しい5軸アクティブ磁気軸受および駆動システムは、高い信頼性と効率的な運転を両立しています。
ターボ分子ポンプMAG
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