商品の仕様
| トータル パフォーマンス | 600.00 |
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.720 |
| プレッシャー・エクステンション | 7.000 × 10⁻⁷ |
バリエーション
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| 簡単な説明 | 型式番号 |
|---|---|
| 840071V1000 | |
| 840071V2000 | |
| 840071V3000 | |
| 840071V3300 | |
| 840072V1000 | |
| 840073V1000 | |
| 840073V2000 | |
| 840081V1000 | |
| 840081V2000 | |
| 840081V3000 | |
| 840081V3300 | |
| 840083V1000 | |
| 840083V2000 |
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i は、90 から 1450 l/s の範囲で実績のあるターボ分子ポンププラットフォームです。 TURBOVAC i には、永久磁石アッパーベアリングとオイルフリーのロアーメカニカルベアリングを組み合わせた最新のハイブリッドベアリング設計が採用されており、きわめてクリーンな高真空条件を実現します。
TURBOVAC i では、リモート電子機器を備えた UHV（超高真空）、スループット IND（産業用）、および iR（放射線耐性）のバリエーションを提供しています。 TURBOVAC i ポンプは、最大 2 つのアクセサリ（基本 RS485、 USB、デジタル I/O コントロール）を制御できるコンパクトなインタフェースを備えています。 TURBOVAC i シリーズは、フィールドバスサポートの全スペクトルも提供しています。 「 Anybus 」と呼ばれる汎用接続により、選択可能なモジュールを介してプロフィバス、イーサネット IP、プロフィネット、および EtherCAT 経由で通信できます。
TURBOVAC iX は、Anybus インタフェース、フォア真空ポンプを制御する機能、最大 6 つのアクセサリ、ゲージインタフェースを提供し、ポンプを完全な真空制御ソリューションにします。 シングルインレットポンプに加えて、カスタマーフォーカスエンジニアリングチームを通じて多数のマルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズされた製品を提供しています。当社のセールスチームにお問い合わせください。
TURBOVAC i ポンプ, 一般的には、スタンドアロンで提供されます。適切な電源ユニット、通信 / 電源ケーブル、冷却オプションは別途注文する必要があります。 TURBOVAC 1350、1450 および 850、950 IND モデルには、水冷ブロックがすでに装備されています。
TURBOVAC 850 iX - DN 160 ISO-K (Anybus)
The pump can be operated in any orientation. This product comes without any additional cooling device - an air cooler or a water cooling block need to be ordered separately. As an electronic interface this product comes with the high end iX interface box with Anybus slot. Interface cards (Fieldbus, Serial Bus) are not included in the scope of supply and need to be ordered separately.
Features and Benefits
- Superior performance - high pumping speed for light gases combined with high compression
- Stress-free operation
- High flexibility in our platform for standard and especially in customized products
- Higher resistance to particles
- Smart interfaces and intuitive software platform with LeyAssist
- Operation in any orientation
General Product Information
| ディメンション 高さ | 0.287 |
| 寸法の長さ | 0.255 |
| 寸法幅 | 0.241 |
| ノイズレベル / 騒音レベル |
50.00
db(A)
50.00 db(A) |
| 本体重量 | 15.10 |
| ディメンションコメント | 寸法（長さ、幅、高さ）は、地面に立ったときの典型的な向きにおけるこの特定の製品の外形を表すものです。取扱説明書の 2D 図面に記載されている詳細な寸法、または 3D モデルに記載されている 3D 形状を常に確認することをお勧めします。 |
| 接続インレット / アウトレットフランジ | DN 160 ISO-K | DN 25 ISO-KF（NW25） |
| 製品の認証 |
CE
UL（61010-1 第 3 版） CSA（C22.2 No.61010-1-12） |
Environmental Conditions
| 動作時の最大周囲温度 | 40.00 |
| 保管時の最高周囲温度 | 70.00 |
| 動作時の最小周囲温度 | 5.00 |
| 保管時の最小周囲温度 | -15.00 |
| 最大磁場抵抗（最悪の方向をカバー - 詳細については当社までお問い合わせください） | 9.000 × 10⁻³ T |
Classification
| ドライまたはウェットポンプの分類 | 乾燥時 |
Performance Data
| トータル パフォーマンス | 600.00 |
| プレッシャー・エクステンション | 7.000 × 10⁻⁷ |
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.720 |
| 排気速度 アルゴン | 0.655 |
| 排気速度 ヘリウム | 0.850 |
| 排気速度 水素 | 0.755 |
| 立ち上がり時間 | 150.00 |
| 公称回転速度 | 820.00 |
| ガス流量 空気窒素 最大 | 1.40 |
| ガス流量 ヘリウム 最大 | 2.00 |
| ガススループット最大水素 | 2.00 |
| ガス流量 アルゴン 最大 | 0.350 |
| バッキング圧力 最大 | 1500.00 |
| 圧縮比アルゴン | 1.000 × 10¹¹ |
Operation Conditions - Limitations
| 冷却水フロー 最小 | 1.667 × 10⁻⁵ |
| 冷却水温度 最大 | 35.00 |
| 冷却水温度 最小 | 15.00 |
| 冷却水フロー 最大 | 3.000 × 10⁻⁵ |
| 冷却水供給の許容圧力 - 最小および最大 |
4.000 × 10⁵
4.000 × 10⁵ |