商品の仕様
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.090 |
バリエーション
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| 簡単な説明 | 型式番号 |
|---|---|
| 810011A00 | |
| 810031A00 | |
| 810041A00 |
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i は、90 から 1450 l/s の範囲で実績のあるターボ分子ポンププラットフォームです。 TURBOVAC i には、永久磁石アッパーベアリングとオイルフリーのロアーメカニカルベアリングを組み合わせた最新のハイブリッドベアリング設計が採用されており、きわめてクリーンな高真空条件を実現します。
TURBOVAC i では、リモート電子機器を備えた UHV（超高真空）、スループット IND（産業用）、および iR（放射線耐性）のバリエーションを提供しています。 TURBOVAC i ポンプは、最大 2 つのアクセサリ（基本 RS485、 USB、デジタル I/O コントロール）を制御できるコンパクトなインタフェースを備えています。 TURBOVAC i シリーズは、フィールドバスサポートの全スペクトルも提供しています。 「 Anybus 」と呼ばれる汎用接続により、選択可能なモジュールを介してプロフィバス、イーサネット IP、プロフィネット、および EtherCAT 経由で通信できます。
TURBOVAC iX は、Anybus インタフェース、フォア真空ポンプを制御する機能、最大 6 つのアクセサリ、ゲージインタフェースを提供し、ポンプを完全な真空制御ソリューションにします。 シングルインレットポンプに加えて、カスタマーフォーカスエンジニアリングチームを通じて多数のマルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズされた製品を提供しています。当社のセールスチームにお問い合わせください。
TURBOVAC i ポンプ, 一般的には、スタンドアロンで提供されます。適切な電源ユニット、通信 / 電源ケーブル、冷却オプションは別途注文する必要があります。 TURBOVAC 1350、1450 および 850、950 IND モデルには、水冷ブロックがすでに装備されています。
TURBOVAC 90 iR
The TURBOVAC iR turbomolecular vacuum pump range has been developed to fulfil the requirements of demanding applications where high ionizing radiation is surrounding while providing the needed vacuum. Thanks to this exceptional tolerance against radiation the performance of the TURBOVAC iR pump is assured... and so is the operation of your application. With TURBOVAC iR you get the right solution for all kinds of remote operation.
TURBOVAC 90 iR - DN 63 ISO-K
The pump can be operated in any orientation. This product comes without any additional cooling device - an air cooler or a water cooling block need to be ordered separately. It is specially designed to remotely operate in a challenging application where high ionizing radiation is present. The controller TURBO.DRIVE 500e can drive this TURBOVAC iR family member on distances of up to 1000 m with minimal performance losses.
Features and Benefits
- Radiation resistance up to 1 MGray - Thanks to this exceptional tolerance against radiation the performance of the TURBOVAC iR pump is assured... and so is the operation of your application.
- Remote operation - With TURBOVAC iR you get the right solution for all kinds of remote operations. The controller TURBO.DRIVE 500e can drive any of the TURBOVAC iR family members on distances of up to 500 m, and this with minimal performance losses.
- Long service lifetime - The TURBOVAC iR pumps offer a long service lifetime: you can count on a maintenance-free period from 4 and up to 5 years.
- TURBO.DRIVE 500e - A powerful and compact solution to operate the TURBOVAC iR series products at any required distance. Besides driving the pump, the TURBO.DRIVE 500e controller can also independently control two TURBOVAC i pumps and standard accessories such as cooling fans or valves. Drive remote electronics with on/off function and status LEDs, LEYASSIST software option via USB port.
General Product Information
| ディメンション 高さ | 0.183 |
| 寸法の長さ | 0.106 |
| 寸法幅 | 0.106 |
| ノイズレベル / 騒音レベル | 41.00 db(A) |
| 本体重量 | 3.10 |
| ディメンションコメント | 寸法（長さ、幅、高さ）は、地面に立ったときの典型的な向きにおけるこの特定の製品の外形を表すものです。取扱説明書の 2D 図面に記載されている詳細な寸法、または 3D モデルに記載されている 3D 形状を常に確認することをお勧めします。 |
| 接続インレット / アウトレットフランジ | DN 63 ISO-K | DN 16 ISO-KF（NW16） |
| 製品の認証 |
CE
UL（61010-1 第 3 版） CSA（C22.2 No.61010-1-12） |
Environmental Conditions
| 動作時の最大周囲温度 | 40.00 |
| 保管時の最高周囲温度 | 70.00 |
| 動作時の最小周囲温度 | 5.00 |
| 保管時の最小周囲温度 | -15.00 |
| 最大磁場抵抗（最悪の方向をカバー - 詳細については当社までお問い合わせください） | 5.500 × 10⁻³ T |
Classification
| ドライまたはウェットポンプの分類 | 乾燥時 |
Performance Data
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.090 |
| 排気速度 アルゴン | 0.083 |
| 排気速度 ヘリウム | 0.090 |
| 排気速度 水素 | 0.078 |
| 立ち上がり時間 | 120.00 |
| 公称回転速度 | 1200.00 |
| ガス流量 空気窒素 最大 | 0.850 |
| ガス流量 ヘリウム 最大 | 1.10 |
| ガススループット最大水素 | 1.10 |
| ガス流量 アルゴン 最大 | 0.350 |
| バッキング圧力 最大 | 1400.00 |
| 圧縮比アルゴン | 1.000 × 10¹¹ |
Operation Conditions - Limitations
| 冷却水フロー 最小 | 8.333 × 10⁻⁶ |
| 冷却水温度 最大 | 35.00 |
| 冷却水温度 最小 | 15.00 |
| 冷却水フロー 最大 | 1.667 × 10⁻⁵ |
| 冷却水供給の許容圧力 - 最小および最大 |
4.000 × 10⁵
4.000 × 10⁵ |