商品の仕様
| インレットフランジ接続 | DN 200 CF（10"） |
| 接続アウトレットフランジ | DN 25 ISO-KF（NW25） |
| エアコンディショナー | 空気冷却（対流） 空冷（強制 - ファン） ウォーター クーリング |
| 電源サプライユニット | DC 48V |
| トータル パフォーマンス | 600.00 |
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.850 |
| プレッシャー・エクステンション | 3.000 × 10⁻⁸ |
バリエーション
範囲を調べる
| 簡単な説明 | 型式番号 | バリアント TMP |
|---|---|---|
| 840091V1000 | TURBOVAC i - frontend 1 (basic) | |
| 840091V2000 | TURBOVAC i - frontend 2 (Anybus/Fieldbus extention) | |
| 840091V3000 | TURBOVAC iX - Xtention box controller | |
| 840091V3300 | TURBOVAC iX - Xtention box controller | |
| 840111V1000 | TURBOVAC i - frontend 1 (basic) | |
| 840111V2000 | TURBOVAC i - frontend 2 (Anybus/Fieldbus extention) | |
| 840111V3000 | TURBOVAC iX - Xtention box controller | |
| 840111V3300 | TURBOVAC iX - Xtention box controller |
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i は、90 から 1450 l/s の範囲で実績のあるターボ分子ポンププラットフォームです。 TURBOVAC i には、永久磁石アッパーベアリングとオイルフリーのロアーメカニカルベアリングを組み合わせた最新のハイブリッドベアリング設計が採用されており、きわめてクリーンな高真空条件を実現します。
TURBOVAC i では、リモート電子機器を備えた UHV（超高真空）、スループット IND（産業用）、および iR（放射線耐性）のバリエーションを提供しています。 TURBOVAC i ポンプは、最大 2 つのアクセサリ（基本 RS485、 USB、デジタル I/O コントロール）を制御できるコンパクトなインタフェースを備えています。 TURBOVAC i シリーズは、フィールドバスサポートの全スペクトルも提供しています。 「 Anybus 」と呼ばれる汎用接続により、選択可能なモジュールを介してプロフィバス、イーサネット IP、プロフィネット、および EtherCAT 経由で通信できます。
TURBOVAC iX は、Anybus インタフェース、フォア真空ポンプを制御する機能、最大 6 つのアクセサリ、ゲージインタフェースを提供し、ポンプを完全な真空制御ソリューションにします。 シングルインレットポンプに加えて、カスタマーフォーカスエンジニアリングチームを通じて多数のマルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズされた製品を提供しています。当社のセールスチームにお問い合わせください。
TURBOVAC i ポンプ, 一般的には、スタンドアロンで提供されます。適切な電源ユニット、通信 / 電源ケーブル、冷却オプションは別途注文する必要があります。 TURBOVAC 1350、1450 および 850、950 IND モデルには、水冷ブロックがすでに装備されています。
Features and Benefits
- Superior performance - high pumping speed for light gases combined with high compression
- Stress-free operation
- High flexibility in our platform for standard and especially in customized products
- Higher resistance to particles
- Smart interfaces and intuitive software platform with LeyAssist
- Operation in any orientation
General Product Information
| アクセサリ / 納品内容 | TURBOVAC i pumps come stand-alone - the suitable power supply unit, comms/power cables, and cooling options need to be ordered separately. IND industrial variants come with an equipped water cooling unit and are water cooling only. |
| クーリングシステム接続部 |
6x1 mm flexible hose quick connection
1/8" BSPP (G) Female |
| 接続アウトレットフランジ | DN 25 ISO-KF（NW25） |
| インレットフランジ接続 | DN 200 CF（10"） |
| エアコンディショナー |
空気冷却（対流）
空冷（強制 - ファン） ウォーター クーリング |
| ディメンション 高さ | 0.307 |
| 寸法の長さ | 0.261 |
| 寸法幅 | 0.262 |
| IP プロテクション | IP40 |
| ノイズレベル / 騒音レベル |
50.00
db(A)
50.00 db(A) |
| 電源供給周波数 | DC 電圧 |
| 電源サプライユニット | DC 48V |
| 本体重量 | 22.20 |
| ディメンションコメント | The dimensions length, width and height try to describe the outer shape of this particular product in its typical orientation when standing on the ground. We always recommend checking the detailed dimensions given in 2D drawings in the instruction manual or the 3D shapes given in 3D models. |
| 接続インレット / アウトレットフランジ | DN 200 CF（10"） | DN 25 ISO-KF（NW25） |
| 製品の認証 |
CE
UL (61010-1 3rd Edition) CSA (C22.2 No.61010-1-12) |
| 接続パージガス、ガスバラスト、ベント |
1/8「 BSPP（または G 1/8」）メス
1/8「 BSPP（または G 1/8」）メス |
Environmental Conditions
| 動作時の最大周囲温度 | 40.00 |
| 保管時の最高周囲温度 | 70.00 |
| 動作時の最小周囲温度 | 5.00 |
| 保管時の最小周囲温度 | -15.00 |
| 最大磁場抵抗（最悪の方向をカバー - 詳細については当社までお問い合わせください） | 0.010 T |
Operation Conditions - Limitations
| 最高地上高 | 4000.00 |
| 冷却水フロー 最小 | 1.667 × 10⁻⁵ |
| 冷却水温度 最大 | 35.00 |
| 冷却水温度 最小 | 15.00 |
| 冷却水フロー 最大 | 3.000 × 10⁻⁵ |
| 冷却水供給の許容圧力 - 最小および最大 |
4.000 × 10⁵
4.000 × 10⁵ |
Classification
| ドライまたはウェットポンプの分類 | 乾燥時 |
| 分類 製品圧力範囲 |
High Vacuum: 1·10⁻³ - 1·10⁻⁷ mbar
Ultra High Vacuum: 1·10⁻⁷ - 1·10⁻¹¹ mbar |
| 高 / 中 / 粗真空ポンプの分類 | High Vacuum Pump |
Performance Data
| 圧縮比 空気 窒素 | 1.000 × 10¹¹ |
| 圧縮比 ヘリウム | 1.000 × 10⁸ |
| 圧縮比 水素 | 4.000 × 10⁶ |
| トータル パフォーマンス | 600.00 |
| プレッシャー・エクステンション | 3.000 × 10⁻⁸ |
| 排気速度 空気窒素（@50Hz または最大 @ デフォルト設定） | 0.850 |
| 排気速度 アルゴン | 0.790 |
| 排気速度 ヘリウム | 0.860 |
| 排気速度 水素 | 0.720 |
| 立ち上がり時間 | 150.00 |
| 公称回転速度 | 820.00 |
| パフォーマンスに関するコメント | The compression of a TMP is a value describing how good the design can compress a gas type at special conditions. Compression data is measured only using the CF flange variants. The values are stated for all family members. For some pump classes we are stating different pumping speeds ISO > CF flange as small differences in geometry influence their performance leading to a difference >5%. |
| ガス流量 空気窒素 最大 | 1.40 |
| ガス流量 ヘリウム 最大 | 2.00 |
| ガススループット最大水素 | 2.00 |
| ガス流量 アルゴン 最大 | 0.350 |
| バッキング圧力 最大 | 1500.00 |
| 圧縮比アルゴン | 1.000 × 10¹¹ |
Connectivity - Communication Interface
| 通信インターフェイスプロトコル | USS Universal Serial Interface Protocol |
| 通信インターフェイス 顧客 |
RS485 (serial)
REMOTE X1 (Parallel I/O) USB |
| 電気通信インターフェイスコネクタの接続 |
DSUB 9 ピン - メス
DSUB HD 15-PIN - メス（高密度） USB タイプ B - メス すべてのモジュール用 ANYBUS ソケット IP20 |
Variants
| インストール ガイド | Any orientation |
| バリアント TMP | TURBOVAC iX - Xtention box controller |
- 300872821_002_Instructions.pdf - English - Instructions
- 301019041_002_Instructions.pdf - English - Instructions
- 300855170_002_Instructions.pdf - English - Instructions
- 3610-0041-02-TURBOVACi.pdf - English - Sales Material
- 3610 0041 02_TURBOVACi_HR.pdf - English - Sales Material
- Elevator_Pitch_Turbovac_EN_DE_Leybold_160817.pdf - English, German - Sales Material
- Elevator_Pitch_TurbovacIX_EN_DE_Leybold_160817.pdf - English, German - Sales Material
- 301019041_003_Instructions.pdf - French - Instructions
- 300855170_003_Instructions.pdf - French - Instructions
- 300872821_001_Instructions.pdf - German - Instructions
- 301019041_001_Instructions.pdf - German - Instructions
- 300855170_001_Instructions.pdf - German - Instructions
- 300855170_004_Instructions.pdf - Italian - Instructions
- 300855170_012_Instructions.pdf - Japanese - Instructions
- 300855170_014_Instructions.pdf - Korean - Instructions
- 300855170_011_Instructions.pdf - Simplified Chinese - Instructions
- 300855170_026_Instructions.pdf - Traditional Chinese - Instructions