TURBOVAC i/iX および TURBOVAC iR
TURBOVAC i は、90～1450 l/sの範囲で実績のあるターボ分子ポンププラットフォームです。TURBOVAC i は最新のハイブリッドベアリング設計を採用しており、上部には永久磁石ベアリング、下部にはオイルフリーの機械式ベアリングを組み合わせることで、極めてクリーンな高真空環境を実現します。
TURBOVAC i シリーズには、UHV（超高真空）、IND（産業用）のスループットモデルに加え、リモート電子機器を搭載した iR（耐放射線）モデルもラインナップされています。TURBOVAC i ポンプは、最大 2 つのアクセサリーを制御可能なコンパクトなインターフェースを備え、基本的な RS485、USB、およびデジタル I/O 制御に対応しています。また、TURBOVAC iシリーズは、あらゆるフィールドバスに対応しています。「Anybus」と呼ばれるユニバーサル接続により、Profibus、Ethernet IP、ProfiNET、EtherCATを介した通信を、選択可能なモジュールで実現します。
TURBOVAC iXは、Anybusインターフェースに加え、フォアバキュームポンプの制御や、最大6つのアクセサリーの接続が可能で、ポンプ単体を完全な真空制御ソリューションに変えるゲージインターフェースを備えています。シングルインレットポンプに加え、マルチインレットポンプ、カートリッジポンプ、およびカスタマーフォーカスエンジニアリングチームによるカスタマイズ製品も豊富に取り揃えております。ぜひ当社営業チームまでご相談ください。
TURBOVAC i ポンプは、一般的に単体での供給となります。適切な電源ユニット、通信・電源ケーブル、および冷却オプションは別途ご注文いただく必要があります。TURBOVAC 1350、1450、および 850、950 IND モデルには、常に水冷ブロックが標準装備されています。
TURBOVAC iR ターボ分子真空ポンプシリーズは、高レベルの電離放射線が存在する過酷な環境下でも必要な真空性能を維持する、要求の厳しい用途に対応するために開発されました。この卓越した耐放射線性により、TURBOVAC iR ポンプの性能は保証されており、お客様のアプリケーションの稼働も確実なものとなります。TURBOVAC iR は、あらゆる種類のリモート操作に最適なソリューションをご提供します。